=)
Информация о работе
Подробнее о работе
Технология и оборудование для проведения диффузионных процессов. Методы диффузии
- 18 страниц
- 2020 год
- 0 просмотров
- 0 покупок
Гарантия сервиса Автор24
Уникальность не ниже 50%
Фрагменты работ
Введение 3
1. Технология и оборудование для проведения диффузионных процессов 4
2. Методы диффузии 10
Заключение 17
Список литературы 18
1. Технология и оборудование для проведения диффузионных процессов
Для получения п/п приборов и ИМС с воспроизводимыми и стабильными параметрами необходимо, чтобы в диффузионных установках по всей рабочей длине канала печи в течение длительного времени поддерживалась с высокой степенью точности заданная температура. В современном оборудовании температура поддерживается с точностью 0.2°С при длине рабочего канала 300-400 мм, чему способствует автоматическая система терморегулирования [1].
Диффузию проводят в одно-, двух или многозонных установках.
Установка СДО-125/4 – установка с четырьмя рабочими каналами, установка СДД-13А – двухзонная одноканальная установка созданы на базе унифицированных элементов.
Установка СДО-125/4, предназначенная для проведения диффузионных процессов на кремнии в диапазоне температур от 500 до 12500°С, имеет 4 рабочих канала – трубы из высокоглиноземистой керамики или кварца и состоит из двух частей: унифицированного основания и четырех камер нагрева.
...
2. Методы диффузии
Параметры диффузионного слоя определяются видом легирующей примеси и ее концентрацией. Технологически сложным является воспроизводимое получение поверхностных концентраций примесей ниже 1018 см-3 при сохранении высокой степени однородности поверхности, особенно на пластинах большого диаметра. Для получения воспроизводимой и регулируемой поверхностной концентрации примеси в полупроводниковой подложке используют[8]:
- нанесение диффузанта на пластины в ходе диффузии (внешний источник); при этом разрабатываются методы регулирования содержания соединения примеси в атмосфере, окружающей полупроводниковые пластины во время диффузии;
- нанесение диффузанта на пластины кремния до диффузии; здесь роль играет регулирование количества примеси, наносимой на пластины перед диффузией, и обеспечение однородности их поверхности.
...
1. Гуров К. П. Взаимная диффузия в многофазных металлических системах : учебное пособие / К. П. Гуров, Б.А. Карташ- кин, Ю.Э. Угасте.— Москва : Наука, 1981.— 350 с.
2. Гольдштейн М. И. Растворимость фаз внедрения при термической обработке стали / М. И. Гольдштейн, В.В. Попов. — Москва : Металлургия, 1989.— 200 с.
3. Маннинг Дж. Кинетика диффузии атомов вкристаллах / Дж. Маннинг.— Москва : Мир, 1971.— 280 с.
4. Криштал М. А. Многокомпонентная диффузия в металлах / М.А. Криштал, А. И. Волков. — Москва : Металлургия, 1985.— 176 с.
5. Колобов Ю.Р. Зернограничная диффузия и свойства наноструктурных материалов : учебное пособие / Под ред. Ю.Р. Колобова и Р.З. Валиева.— Новосибирск : Наука, 2001.— 232 с.
6. Каур И. Диффузия пограницам зерен ифаз : пер. с англ. / И. Каур, В. Густ.— Москва : Машиностроение, 1991.— 445 с
7. Процессы взаимной диффузии в сплавах / И.Б. Боровский, К.П. Гуров, И.Д. Марчукова, Ю.Э. Угасте.— Москва : Наука, 1973.— 360 с.
8. Попов А.А. Теоретические основы химико-термической обработки стали / А.А. Попов.— Москва : Металлургиздат, 1962.— 120 с.
9. Лахтин Ю. М. Химико-термическая обработка металлов / Ю.М. Лахтин, Б.Н. Арзмасов.— Москва : Металлургия, 1985.— 256 с.
10. Русаков Г. М. Расчет коэффициентов примесной диффузии методом разложения концентрационного профиля в ряд Фурье / Г.М. Русаков, М.Л. Лобанов, К.В. Ларионова // Физика металлов и металловедение.— 2001.— Т. 91, № 1.— С. 14–16.
11. Шьюмон П. Диффузия в твердых телах / П. Шьюмон.— Москва : Металлургия, 1966.— 195 с.
Форма заказа новой работы
Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям
