Благодарю за реферат по физике, качественно и в срок)
Информация о работе
Подробнее о работе
Вакуумное напыление
- 24 страниц
- 2020 год
- 34 просмотра
- 2 покупки
Гарантия сервиса Автор24
Уникальность не ниже 50%
Фрагменты работ
Введение 2
1. Особенности вакуумного напыления 4
2 Аналоги вакуумных установок 12
3. Методы вакуумного напыления 16
4. Принцип термического вакуумного напыления 21
Заключение 23
Список литературы 24
1. Особенности вакуумного напыления
В настоящее время благодаря развитию, в основном, вакуумной техники методы осаждения покрытий в вакууме получили широкое распространение и в ряде случаев являются единственными эффективными технологическими приемами повышения долговечности и износостойкости машиностроительных изделий. Они по сравнению с другими методами нанесения функциональных слоев характеризуются следующими преимуществами:
Высокая производительность процесса нанесения покрытия. Разработаны установки, в которых осаждение покрытия осуществляется со скоростью до 20 кг/мин. Скорость перемещения ленты в зоне металлизации может достигать более 10 м/с. Имеются камеры непрерывного действия, которые позволяют осаждать покрытия на листы шириной более двух метров, перемещающиеся со скоростью до 10 м/с. Это стало возможным в ряде случаев благодаря автоматизации процесса, использованию ЭВМ.
...
2 Аналоги вакуумных установок
В настоящее время для получения высококачественных покрытий на производстве используются различные варианты установок, отличающихся как по принципу действия, так и по техническим характеристикам. Известны основные принципиальные схемы установок вакуумного нанесения покрытий: Оратория-5, Везувий – 8, УВН-2У.
Установка Оратория – 5 является установкой напыления непрерывного действия см. рис.2.
Рисунок 2 - « Установка Оратория-5»
В ней совмещены во времени операции загрузки подложкодержателя в камеру и процесс нанесения покрытий. Отличительной особенностью этой установки служит конструкция подложкодержателя, которая позволяет обрабатывать одновременно за один такт до четырёх подложек диаметра 105 мм, что в сочетании с непрерывностью действия обеспечивает очень высокую производительность до 80 пластин в час. После выхода на режим установка работает в следующем порядке.
...
3. Методы вакуумного напыления
Вакуумное покрытие — перенесение элементов напыляемого материала с источника (зоны его переведения в газовую фазу) к плоскости детали исполняется согласно прямолинейным траекториям при вакууме 10-3 Па и ниже (вакуумное улетучивание) и посредством дифузного и конвекционного перенесения в плазме при давлениях 1 Па (катодное рассеивание) и 10-1-10-3 Па (магнетронное и ионно-плазменное рассеивание). Участь любой из крупиц напыляемого элемента при соударении с поверхностью детали находится в зависимости от ее энергии, температуры плоскости и хим сродства веществ оболочки и составляющих. Атомы либо молекулы, достигнувшие плоскости, имеют все шансы или отразиться от нее, или адсорбироваться и спустя определенный период времени, покинуть ее (десорбция), или адсорбироваться и формировать в плоскости поликонденсат (уплотнение). При высочайших энергиях крупиц, высокой температуре плоскости и небольшом хим сродстве, часть отображается поверхностью.
...
4. Принцип термического вакуумного напыления
Процесс напыления начинается с установки на держатель деталей, подвергаемых напылению. Затем опускается вакуумный колпак и включается система вакуумных насосов (вначале для создания предварительного разрежения, а затем и высоковакуумные). Для ускорения десорбции воздуха с внутренних поверхностей колпака и сокращения времени откачки в трубопровод для нагрева колпака подают горячую проточную воду. При достижении давления внутри камеры от 1 до 100 Па включаются нагреватели испарителя и детали. Когда нагрев испаряемого вещества и поверхности детали становится равен диапазону рабочих температур, заслонку 2 отводят в сторону и пары вещества нагреваются и перемещаются к поверхности детали, где происходит их конденсация и последующий рост плёнки.
...
Заключение
Суть вакуумного напыления состоит в оседании паров материала на подложку. Вакуум здесь нужен по двум причинам:
Обеспечение беспрепятственного пролета паров от мишени до подложки (чем меньше в камере газа, тем меньше вероятность их отклонения в стороны, химических реакций с газом и охлаждения в полете). Охлаждение в полете плохо потому, что частице нужен некоторый запас энергии, чтобы немного углубиться в материал подложки, «расшатав» атомы её поверхностного слоя.
Отсутствие кислорода, который при высоких температурах начал бы, конечно окислять горячие поверхности мишени и растущей пленки, мешая процессу.
Вакуумное покрытие используют с целью формирования в плоскости элементов, приборов и оснащения многофункциональных покрытий — проводящих, изолирующих, абразивостойких, коррозионно-устойчивых, эрозионностойких, антифрикционных, антизадирных, барьерных и т. д.
...
1 Вакуумная техника и источники концентрированных потоков энергии. Ч.1: Вакуумная техника: Лабораторный практикум / Казаченко В.П., Попов А.Н., Егоров А.И. - Гомель: БелГУТ, 2004. - 33 с.
2 Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш. шк. 1990. - 320 с.
3 Рогачев А.В., Сидорский С.С. Восстановление и повышение износостойкости деталей машин: Учеб. пособие. - Гомель: БелГУТ, 2005. - 343 с.
4 Белорусский государственный университет транспорта: Хроника. События. Люди / Под ред. В.И. Сенько. - Гомель: БелГУТ, 2003. - 431 с. + 84 с. ил.
Форма заказа новой работы
Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям
