Измеритель удельного и поверхностного сопротивления и тестер
1. Описание мерительного прибора
В ходе данной производственной практики мы рассмотрим такой прибор, как цифровая система удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов RMS-EL-Z.
Данная цифровая система состоит из измерителя удельного и поверхностного сопротивления RMS-EL-Z (рис. 1) и тестера Jandel RM3000 (рис. 2)
Конструкция измерителя удельного сопротивления RMS-EL-Z:
- основание (твёрдо анодированный алюминий);
- вертикальная опора с круглым сечением (нержавеющая сталь);
- щуп;
- держатель щупа;
- ползунковый механизм подъема-опускания;
- оси рычага управления;
- концевой микровыключатель.
Органы управления тестера Jandel RM3000:
- дисплей;
- клавиши с цифрами;
- клавиши уровня тока;
- клавиша режима отображения значения сопротивления;
- клавиша включения тока в прямом направлении;
- клавиша включения тока в обратном направлении;
- клавиша включения режима ожидания / автоматического выбора силы тока;
- клавиши предварительных установок силы тока;
- клавиши включения режима измерений с высоким или низким разрешением;
- клавиша сохранения результатов измерений;
- клавиша запуска процесса измерений.
Таблица 2 - Основные технические данные и характеристики тестера Jandel RM3000
Назначение и общие сведения:
Цифровая система удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов RMS-EL-Z предназначена для измерения удельного поверхностного сопротивления монокристаллических плёнок, расположенных на полупроводниковых подложках p-типа проводимости или на изолированной подложке, резистивных и металлических плёнок, расположенных на изолирующих подложках.
В системе RMS-EL-Z используется цилиндрическая головка с четырёх точечным контактом для измерения и изменением давления.
Тестер Jandel RM3000 представляет собой цифровой вольтметр с источником постоянного тока, который предназначен для измерения удельного сопротивления наряду с другим оборудованием для измерений четырёхточечным методом. На дисплее может отображаться либо напряжение, либо поверхностное сопротивление образца в омах на квадрат, в зависимости от выбранного режима работы прибора.
Производитель Jandel Engineering Limited, Англия.
Основные характеристики устройства:
- позволяет измерять сопротивление образцов диаметром до 10 дюймов и глубиной до 10 и высотой до 6 дюймов. Ширина может быть любая, если она позволяет закрепить края образца;
- автоматическое распознавание зазора между щупом и образцом и отключение тока для предотвращения возникновения искры;
- удобное регулирование высоты;
- точное регулирование высоты расположения щупа (давления на образец) с оптимальной скоростью опускания щупа....